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產品名稱： IH600愛德華螺桿泵維修簡要描述： IH600愛德華螺桿泵維修，半導體真空泵維修保養。GV系列干泵維修，EH系列羅茨泵維修GVS系列螺桿泵維修更新時間： 2023-09-15瀏覽次數： 1464
產品介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 供貨周期 | 一周 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫療衛生,化工,石油,能源,電子 |
湖北武漢IH600愛德華螺桿泵維修，半導體真空泵維修保養。Edwards IH600系列干泵在環境（顆粒，腐蝕物）下有著高可靠性，例如PECVD，LPCVD中。IH600工作在大氣壓和極限壓力之間，無需潤滑，這樣就確保了油不會被反抽到系統中。IH600系統有一個HCDP80干泵；HCMB-600干泵。IH600系統適用于無風冷電機的潔凈環境中。IH600干泵系統還擁有運送清潔氣體進入HCDP泵的氣體系統，適用于制程物嚴重的工藝中。使用在較低要求的工藝下可共同改變氣體排放模式改變N2消耗量。通過顯示終端可手動控制真空系統。另外，可以通過接口模塊或即時通訊模塊或IH單設備監控器使用其他控制設備去操作IH干泵系統。 半導體晶圓廠的應用包括： LOADLOC 傳送 測量 光刻 物理氣相沉積工藝 物理氣相沉積預清潔 快速熱退火 去膠 蝕刻 高密度等離子化學氣相沉積 高密度等離子體化學氣相沉積快速熱處理 大氣化學氣相沉積sacvd 鎢化學氣相沉積
等離子體增強化學氣相沉積 低壓化學氣相淀積。
規格參數：
Edwards IH600
項 目 參 數
Inlet Connection ISO 100
Outlet Connection NW40
Peak Speed 518 m3h1
8635 1min-1
305 CFM
Ultimate Vacuum 2 x 10-3 mbar
1.5 x 10-3 Torr
Power bbbbb at vacuum 3.1 kW
Rated Motor Power 5.1 kW
Weight 913 kg/lbs.
湖北武漢IH600愛德華螺桿泵維修，GV系列干泵維修，EH系列羅茨泵維修GVS系列螺桿泵維修
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